MEMS(微机电系统)是指使用微制造制造的装置和结构。这些器件的尺寸范围从远小于1微米到几毫米。有些没有移动元素，有些则有移动元素。功能元件是微传感器和微致动器，它们是将能量从一种形式转换为另一种形式的传感器，例如将机械信号转换为电信号。

　　根据Yole的说法，当MEMS和其他类型的传感器结合在一起时，它们占全球集成电路市场总量的10%左右。2018年合并后的市场规模为480亿美元，2024年将达到930亿美元。

　　MEMS器件用于描述压力、射频和惯性测量，并且将来将用于检测超声波指纹。它们出现在从喷墨头到陀螺仪、麦克风、加速度计和所有类型的压力传感器的各个领域。

　　据Yole分析师称，MEMS还具有“更智能的制造能力”。这意味着它们为各种行业的新应用和服务提供了背景，包括交通、移动、健康和安全。

　　分析师指出，阿里巴巴和谷歌已在他们的智能家居、智能校园、智能城市和智能行业应用中使用MEMS。MEMS可以精确、小巧、低功耗并始终保持开启状态。通过边缘计算和传感器融合的广泛使用，将处理更多关于周围环境的数据。

　　MEMS的大型代工厂在2018年都实现了收入增长。其中包括意法半导体、Teledyne Dalsa、Silex、IMT、Micralyne和飞利浦创新服务。

　　MEMS的应用领域将持续扩大：医疗应用将MEMS用于微流体、流量计、压力和惯性;工业应用包括喷墨头、微测辐射热计和压力传感器;RF MEMS和振荡器将用于5G基础设施;在汽车应用中，加速度计和压力传感器是MEMS的主要部分，但是汽车中安装的设备比以往任何时候都多，包括用于轨道测量的MEMS和用于车内气体和颗粒监测的环境MEMS以及用于免提语音命令的麦克风;被称为BAW滤波器的射频MEMS可用于在6GHz以下频段内运行超过5G的智能手机。